项目预算金额

人民币壹佰壹拾伍万壹仟柒佰元整（1151700元 ）

采购项目内容

本项目购买一套化学气相沉积（CVD）系统，包括热丝CVD、微波CVD、辅助仪器和配件，需实现以下用途：1）沉积毫米级金刚石厚膜；2） 沉积金刚石刀具涂层和模具涂层；3）高品质金刚石膜及单晶金刚石生长；4）用于材料科学、半导体物理、薄膜技术等课程的实验教学。

拟推荐供应商

成都纽曼和瑞微波技术有限公司

申请理由及相关说明

经过调研，金刚石镀膜设备的国际供应商如美国SP3公司，以及德国iplas、CemeCom、日本Cornes公司等的单台设备价格昂贵，均在人民币300万以上，且不转让技术。本项目决定采购国产设备。

金刚石热丝CVD设备虽然有1~2家其他企业可以提供小型热丝CVD设备，但是技术力量不足，设备没有定型，技术路线、薄膜工艺没有得到充分验证，在高校及企业的应用很少。

成都纽曼和瑞公司提供的热丝CVD设备基于15年的设备及镀膜工艺研发，有多项专利技术，用于金刚石涂层和厚膜生长具有突出优势，可提供标准成套设备，也可以进行研发定制，在各项性能上均能满足需要。用户包括北京大学、北京科技大学、武汉工程大学、哈尔滨工程大学、西北工业大学等，企业如深圳金洲、惠州戴尔蒙德、北京希波尔、东莞鼎泰鑫等，有突出的技术优势和市场认可度。并且该公司在华南地区长期有专职工程师负责设备的安装调试和维修。

成都纽曼和瑞公司可以向用户提供工艺技术支持，如烧丝工艺，基本成膜工艺等，其它厂家不能提供。且该公司是国内主要的金刚石镀膜用微波CVD设备供应商，也是目前唯一可为企业提供批量成套设备的供应商，其他厂商无法提供同类的成套设备。该公司设备在国内率先用于CVD金刚石单晶生长，相关技术居国内领先。

公示期限

从 2018 年10 月 12日起至 2018 年10 月 18日止。

采购人

联系人

敬奕艳

联系电话

0755-23256082

联系地址

深圳市坪山区竹韵花园实训楼（临时办公场地）

采购与招投标管理中心

联系人

骆老师

联系电话

0755-23256076

联系地址

深圳市坪山区竹韵花园实训楼302室